對濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來，并且終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，終形成薄膜。濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點(diǎn)在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。 

濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差（因?yàn)槭敲}沖濺射），晶向（外沿）生長的控制也比較一般。

以pld為例，因素主要有：靶材與基片的晶格匹配程度 　鍍膜氛圍（低壓氣體氛圍） 　基片溫度 　激光器功率 　脈沖頻率 　濺射時間 　對于不同的濺射材料和基片，佳參數(shù)需要實(shí)驗(yàn)確定，是各不相同的，鍍膜設(shè)備的好壞主要在于能否**控溫，能否保證好的真空度，能否保證好的真空腔清潔度。

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小編：ysl2022.04.28